|
|
|
|
|
А .М . НОВИКОВ
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ ПРОЦЕСС, ВОЗМУЩЕННЫЙ ФЛУКТУАЦИЕЙ ФАЗЫ ВОЛНЫ, ОТРАЖЕННОЙ
ОТ ШЕРОХОВАТОЙ ПОВЕРХНОСТИ
При отражении световой монохроматической волны от шероховатой поверхности возникают флуктуации в отраженном поле. Обусловлены они статистическим состоянием поверхности и связаны с корреляцией l и дисперсией ст шероховатостей.
В работе рассматривается случай, когда интерференционный процесс учитывает флуктуацию фазы отраженной волны. Это позволяет по параметрам l и σ оценить количественные изменения в интерференционной картине. Одно из возможных приложении результатов работы, голографическая дефектоскопия, проверялось опытом.
Интерференция в поле возмущенной волны
Обратимся к структуре отраженной волны, для чего приведем рисунок 1.
Согласно [1], поле U над статистически шероховатой поверхностью S в зоне разделения дифракционных спектров можно представить в виде:
U=Uo+u, (1)
где U0 == А0exp (-i Ф0) - поле плоской зеркально отраженной регулярной волны, u - поле плоской рассеянной волны.
Величина u определяется неровностями поверхности S и вносит случайные изменения в фазу Ф волны U = А exp (-iФ). По отношению к регулярной фазе Фо дисперсия таких изменений будет равна δφ = Τ-Ф0.
Пусть в плоскости фотоприемника интерферируют отраженная волна U интенсивности I с фазой Ф=Ф 0+δφ θ частично когерентная с ней опорная волна той же интенсивности с регулярной фазой Ф01 . На фотоприемнике суммарная интенсивность х сходящихся волн будет иметь вид:
х = 2I[1+Cos (kΔ + δφ], (2)
где разность фаз таких волн определяется равенством
Ф - Ф01 = Ф0 - Ф01 + δφ = kΔ + δφ
Формула (2) отличается от классической [2] и приведена на случай флуктуации фазы Ф. Слагаемое δ φ [1] ηависит от дисперсии высот шероховатостей σ , а поэтому интерференционный снимок поверхности S (голограмма S) должен содержать оптическую информацию о состоянии шероховатости на поверхности. Рассмотрим этот вопрос более подробно .
Интерферограмма S при дисперсии фазы
При kΔ=mλ (m = 0,1,2,...) и малых δφ > уравнение (2) примет вид :
х=2I [1±(1- δφ 2/2)] . (3)
Согласно (3) интерференционную картину образуют чередующиеся полосы различной освещенности xmax =4 I. xmin=I δφ 2.
Вместо классического случая xmin=0 получили xmin = I δφ2 т.е.освещенность вдоль линии xmin может отличаться от нуля, поскольку модулирована локальной функцией δφ (σ).
Подвергнем поверхность S некоторой деформации. Вследствие этого на поверхности изменится и шероховатость. Возникнет новое состояние поверхности. Соответствующие ей функции условимся
обозначать σ ', δφ'= δφ(σ'), U'=A ехр(-i(Ф0'+ δφ|)). Выполним на фо-гоприемнике экспонирование двух указанных состояний поверхности. При восстановлении изображения возникнут волны U и U', которые согласно [2] образуют интерферограмму поверхности S. Следуя (2) для интерференции U и U', можно записать:
х = 2 I [1 +Cos (k Δ+( δφ'- δφ)] (4)
Отсюда аналогично (3) будет выполняться
x=2 I [l ± (l-(δφ' - δφ)2/2)] (5)
Последнее определяет xmin = I (δφ' - δφ)2, т.е. линии интерферограммы S модулированы функцией (δφ'- δφ)2 . Запишем выражение для функции xmin(σ). Οусть для поверхности S выполняется условие kl>>1 (крупно-масштабные шероховатости ). Тогда из [1] можно воспользоваться соотношением δφ@
√2 kσ SinΨ.
При Ψ = π/4 θмеем выражение xmin = I k2 (σ '-σ)2 .
Здесь l - радиус корреляции изотропной шероховатости, σ - среднеквадратическое отклонение (дисперсия) высот шероховатости в точке, Ψ - угол падения монохроматической волны λ на S, k=2π/λ. Статистическая модель поверхности [1] предполагает, что в любой ее точке существуют любые неровности (профиль шероховатости). С точки зрения физики можно ожидать, что на неоднородных участках такой профиль будет значительно сложнее. Поэтому при деформации поверхности наиболее сложные изменения дисперсии а должны наблюдаться на неоднородных участках. Это свойство шероховатости можно учесть в формуле xmin= I k2 (σ'-σ )2. Действительно, если σ'; σ - δва состояния одного и того же профиля, то сложное изменение профиля можно выразить условием σ'σ = 0 (состояния не коррелируют). Отсюда можно записать xmin= I k2 (σ'2+σ2). На однородных участках профиль шероховатости носит менее сложный характер, а поэтому изменение σ можно выразить σ'= σ, ς.е. xmin = 0. Из сказанного вытекает первая особенность интерферограммы. На однородных участках поверхности S линии xmin обретают максимально темную окраску и просветляются на неоднородных участках. Видим, что малые δφ'- δφ ξказывают влияние на распределение интенсивности
света в интерференционной картине.
Рассмотрим случай, когда δ φ'- δφ βлияет на порядок интер-ференции. Запишем для волн U'=U0'+u'; U=Uo+u с учетом δφ = kσ разность фаз
Φ'- Φ = Φ 0' - Φ0 + (δφ'- δφ) = kΔ + k (σ'- σ),
где А = mλ/2 (m = 0, 1, ...).
При достижении σ '-σ = λ/2 β формуле (4) получим k Δ +k (σ'-σ) = k(m +1)λ/2, χто соответствует смещению интерференционных линий на один порядок. Здесь формально возникает противоречие. С одной стороны, согласно [1], интерференционную картину волн U'/U образуют их регулярные составляющие U0', U0 с разностью фаз Ф0' - Ф0 = kΔ = kmλ/2. С другой стороны, допущение предполагает интерференцию U', U как волн бесструктурных, с разностью фаз Ф'-Ф = k (m +1) λ/2. Ξба допущения не противоречат принципу суперпозиции, поэтому будут проявляться два конкурирующих процесса. Это будет выражаться в расщеплении интерференционных полос. Из сказанного вытекает вторая особенность интерферограммы. На неоднородных участках поверхности линии xmin, расщепляясь, будут ослаблять интенсивность соседних линий xmax, а линии xmax, расщепляясь, ослабляют свою интенсивность, просветляя соседними линии xmin. При достижении σ'-σ=λ интенсивность линий xmax снижается, а линии xmin не просветляются. Отмеченные особенности интерферограммы шероховатой поверхности можно использовать для практических целей.
Определение участков неоднородности и уровня шероховатости на поверхности полированного монокристалла
Будем исходить из того, что на данной гладкой поверхности имеются участки неоднородности и профиль шероховатости на них отличается большей сложностью. Выполним интерферограмму поверхности и добьемся, чтобы ширина линий на снимке достигла ~ 11 линий на см. Именно при малой ширине линий становится заметным влияние рассеянной волны и на интерференционную картину [З]. Выделим на снимке участки, где линии x min заметно просветляются. Согласно вышеизложенному - это неоднородные участки.
Оценим на них интенсивность линий и уровень шероховатости, для чего воспользуемся формулой
xmin = I ( δφ'2 + δφ2 ) = I k 2 (σ'2 + σ2 ).
Учитывая x max =4 I, получим xmin = x max (δφ'2 + δφ2 ) / 4.
Малые δ φ'; δφ μожно принять δφ' @
δφ = 0,08, χто определяет xmin = 0,003 x max. Существование равенства δφ = k σ = 0,08 οомогает оценить высоту шероховатости σ @
0,01 λ .Σчастки характеризуются просветлением линий xmin и уменьшением интенсивности соседних линии xmax. Такое распределение интенсивности определяется условием σ'- σ = λ/2 .
Если воспользоваться равенством σ '2 + σ2 - 2 σ'σ= λ2 / 4, то при σ'σ = 0 μожно оценить высоту шероховатости σ @
λ / 2√2 = 0,4 λ . Νад зеркальной поверхностью волна и имеет слабую интенсивность. С этой целью поверхность нужно покрыть светлым порошком. При деформации поверхности частицы порошка будут отслеживать поведение поверхности. Для оценки уровня шероховатости на зеркальной поверхности необходимо знать средний размер частиц порошка.
Литература
1. Басе Ф.Г., Фукс И.М. Рассеяние волн на статистически неровной поверхности. M., 1972. 424с.
2. Вест Ч. Голографическая интерферометрия. M., 1982. 504 с.
3. Новиков А,М. Материалы IV Всесоюзной конференции "Применение лазеров в технологии и системах передачи и обработки информации". Киев, 1991. С. 89.
4. Материалы международной конференции "Лазерные и физико-технические методы обработки материалов". Крым, 1995. С.82.
|
|
|
|
|
|
|
|
Copyright
© 1999-2004 MeDia-security,
webmaster@media-security.ru
|
|
|