Ждем Ваших писем...
   

 

 

ТОЧНОСТНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ МЕТОДОВ СПЕКЛ-ГОЛОГРАФИЧЕСКОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТРИИ И ИХ МЕТРОЛОГИЧЕСКАЯ АТТЕСТАЦИЯ

В.Е.Борцов, А.А.Капустин, Г.И.Костюк

Представлены результаты метрологического анализа и аттестации методов спекл-голографической интерферометрии. Для проверки методик измерений использовался высокоточный лазерный интерферометр - LA 3002. Получены рабочие выражения для оценки погрешностей определения компонент вектора смещения.

Традиционные методы голографической интерферометрии часто оказываются непригодными для диагностики деформированного состояния элементов конструкций составных, пространственно сложных систем. Прежде всего это обуславливается малыми размерами исследуемых объектов, сложностью голографических схем, значительными трудностями, связанными с отстройкой от регистрации смещения объекта исследования как абсолютно жесткого целого относительно регистрирующей среды и трудностями, связанными с количественной pacшифровкой голографических интерферограмм /1/.

Проведенные исследования и анализ голографических методов позволили разработать и предложить ряд новых схемных решений, совмещающих основные преимущества голографической интерферометрии во встречных пучках (голограммы Денисюка) и спекл-интерферометрии.

При проведении исследований прозрачную регистрирующую среду (ЛОИ, ПЭ-2, ПФГ-03) закрепляют на исследуемом объекте с помощью специального приспособления. Этим достигается отстройка от регистрации смещений объекта как жесткого целого, что позволяет производить запись голограмм двойной экспозиции непосредственно на технологическом оборудовании или в приспособлении, не обладающем достаточной жесткостью при значительном удалении

 

лазера от объекта исследования. Запись голограмм двойной экспозиции осуществляют при освещении объекта коллимированным пучком лазерного света /4/. Восстановленное мнимое изображение объекта фотографируют дважды. При малом относительном отверстии объектива получают негативное изображение объекта, покрытое интерференционными полосами, характеризующими смещение точек из плоскости исследуемой поверхности. При полностью открытой диафрагме на высокоразрешающей среде получают спекл-фотографию двойной экспозиции, характеризующую смещение точек в плоскости исследуемой поверхности.

Для определения нормальной компоненты вектора перемещения используют уравнение

Rxi = Nil /2 (1)

где Ni - порядок интерференционных полос, считая от полосы нулевого порядка; l =0,6328 мкм - длина волны лазера.

Уравнение (1) справедливо при наблюдении интерференционной картины по нормам к голограмме через полупрозрачное зеркало. Определение величины проекции вектора смещения соответствующей точки поверхности объекта в плоскости YOZ, параллельной плоскости голограммы, осуществляется по картине интерференционных полос, возникающих на экране при сканировании неразведенным пучком лазера спекл-фотографии двойной экспозиции,

| iyz| = l Z/ma (2)

где L - расстояние от спекл-фотографии до экрана, m - масштаб изображения исследуемого объекта на спекл-фотографии; а - шаг интерференционных полос на экране.

Измеряя угол наклона нормали к интерференционным полосам с осью OY - a yi, определяют составляющее полного смещения по осям:

Ryi = Cosa yi (3)

 

Rzi = Sina yi (4)

В общем случае методу голографической интерферометрии при определении нормальной компоненты вектора смещения Rx: методу спекл-интерферометрии при определении компонент Ry и Rz смещения в плоскости присущи как систематические, гак и случайные погрешности.

Установлены. что к систематическим погрешностям методов относятся погрешности, вызванные изменением длины волны излучения лазера, влиянием оптических элементов, механических узлов и приспособлений голографических схем, параметров фототехнических пластин и способов их обработки, геометрических параметров оптической схемы записи и восстановления спекл-фотографии, индивидуальными особенностями оператора и т.д. К случайным погрешностям относятся погрешности определения полосы нулевого порядка, установки луча лазера в центр угла наклона и периода интерференционных полос.

Погрешность измерения нормальной составляющей Rx вектора перемещений R определяется выражением:

(5)

а погрешности измерений проекций Rу и Rz, соответственно, выражениями:

(6)

(7)

 

В выражение (5). помимо погрешностей значений длины волны (D l ), угла наблюдения (D a Н), коэффициента увеличения (D m), входят и случайные погрешности определения дробной части интерференционной полосы (D n) и полосы нулевого порядка (D N), а в выражения (6) и (7) - случайные погрешности D A(n) - расстояния между n интерференционными полосами на экране D a y.

Для проведения метрологической аттестации был принят метод сравнения, осуществленный на спроектированной и изготовленной специальной установке (рис.1). Значения смещения, определенных с помощью методики, сравнивали со значениями тех же смещений, измеренных с помощью лазерного интерферометра марки LА 3002 (производство ЧССР). Интерферометр, состояний из излучателя 1, разделительного блока 2 и обратного отражателя 3, предназначен для дистанционных бесконтактных измерений линейных перемещений с разрешающей способностью 0,08 мкм и погрешностью, не превышающей 1,5·10-7.

Обратный отражатель 3 установлен на столе 15. Подвижный стол 15 имеет возможность перемещаться с помощью микрометрического винта вдоль вектора чувствительности интерферометра относительно подвижного стола 16, который также может перемещаться в том же направлении относительно неподвижного голографического стола.

Оптическая схема установки, состоящая из лазера 4 (ЛГ-38), коллиматоров 10, 11, непрозрачных 13, 14 и полупрозрачных 12 зеркал, позволяет одновременно записывать две голографические интерферограммы 5 во встречных пучках как при нормальном перемещении объектов исследования 6,8,9, так и при таком же тангенциальном перемещении объектов 7, 8, 9 относительно голограмм 5.

В качестве объектов, моделирующих смещения и деформации сборной конструкции, применяли призму 8, пятигранную пластику 9, металлическую пластину 6 длиной 80 км и шириной 15 мм или металлический сектор 7 с углом вершины 32° и радиусом 80 мм.

Пластина 9 жестко связана с верхним подвижным столом 15 и перемещается с ним относительно призмы 8, установленной на нижнем

 

подвижном столе 16. При перемещении стола 15 поворачивается на небольшой угол пластина 6 и сектор 7, чем моделируется деформации элементов конструкции.

Для однозначности отсчета порядковых номеров интерференционных полос конструктивные элементы связаны между собой, а также с неподвижным основанием эластичными резиновыми связками. Отсчет порядковых номеров полос вели от полосы нулевого порядка – N0, проходящей через опору, жестко связанную со столом голографической установки.

Расположении элементов оптической схемы и моделей объектов позволяет одновременно исследовать как составляющие смещения Rx1. Для положения объекта I и системы координат x1y1z1), так и составляющие смещения Ry2 и Rz2 (для положения объекта II и системы координат x2y2z2). При этом Rx1=Ry2, где Rx1 и Ry2 - суммарные смещения моделей державок 8 (R'x1 и R'y2) и пластин 9 (R"x1 и R"y2), задаваемые с помощью микрометрических винтов нижнего 16 и верхнего 15 подвижных столов.

Количественные показатели точности измерений, способы их выражения и формы представления результатов измерений соответствуют требованиям ГОСТа 8.011-72 ."Показатели точности измерений и формы представления результатов намерений".

Результаты метрологической аттестации методики определения нормальной компоненты смещения приведены в табл.1.

Таблица 1

ni

Ni

Rxi, мкм

S2xj, мкм

Sxj, мкм

Rxjист, мкм

D Rxj, мкм

D Rxj, %

1

19,4

6,1311

0,0023

0,0403

6,141

-0,0049

0,16

2

15,4

4,8584

0,0103

0,1015

4,806

0,0524

1,1

3

11,0

3,4946

0,025

0,0483

3,271

0,0236

0,68

4

6,8

2,1656

0,009

0,095

2,136

0,0296

1,4

5

2,6

0,8367

0,0044

0,066

0,801

0,0357

4,4

6

-1.5

-0,4852

0,001

0,0315

0,534

-0,0482

9,1

 

 

где ni - номер ряда реперных точек на пластине 6 (рис.2); j - усредненный порядок интерференционной полосы, проходящей через ряд реперных точек nj; Rxj - измеренное значение нормальной компоненты смещения ряда точек nj; Rxjист - истинное значение нормальной компоненты смещения; S2xj - дисперсия результатов измерения; Sxj - среднеквадратичное отклонение; D Rxj = Rxjист - Rxj - абсолютная ошибка измерений; D Rxj% = (Rxj/Rxjист)100% - относительная ошибка измерений.

На рис.3 приведена одна из трех голографических интерферограмм, полученных в положении I при первом варианте смещения R''х1 = R"y2 = 8,1476 мкм, а на рис.4 - график зависимости относительной погрешности определения дробной частя порядкового номера интерференционной полосы от числа полос N.

При проведении аттестации метода для определения смещений в плоскости исследуемого объекта получали по 3 спекл-фотографии с голографических интерферограмм, зарегистрированных в положении II при 1-м и 2-м вариантах смещения объекта.

Количественную расшифровку осуществляли методом поточечного сканирования (см. уравнения 2-4) при m = 1, L = 500 мм, l = 0,6328 мкм, диаметр луча лазера = 2 мм, радиус экрана = 500 мм /5/.

При первом варианте смещений в положении II пластина 9 смещалась на величину R"y2 = R"x1 = 8,1476 мкм относительно призмы 8, которая оставалась неподвижной (рис.1). Ось вращения сектора 7 также смещалась на величину R"y2=8,1476 мкм.

Результаты количественной расшифровки, а также статистические характеристики групп измерений сведены в табл.2, где - усредненное значение компоненты Ryi, S2Ry - дисперсия, SRy -среднеквадратичное отклонение, D Ry=(Ryист¾ y) – абсолютная ошибка измерений, D Ry%=(D Ry/Ryист)100% - относительная ошибка измерений.

Составляющие истинных смещений Ryij и Rzij реперных точек Nij, на секторе 7 рассчитывали согласно расчетной схеме (рис.5).

 

Расчетные и экспериментальные значения составляющих смещения Ryij и Rzij реперных точек Nij сведены в таблицу 3, где Nij - номер реперной точки (рис.7); ij - усредненное расстояние между центрами интерференционных полос при просвечивании точки Nij на спекл-фотографии; a ij - угол нормали; yij и zij - усредненные составляющие смещений точки Nij, D Ryij и D Rzij - абсолютные погрешности определения смещений; D Ryij% и D Rzij% - относительные погрешности определения смещений.

На рис.6 для примера построены графики составляющих Ryij и Rzij смещений нереперных точек сектора 7.

Очевидно, что основной вклад в погрешность измерения компонент смещения вносят случайные погрешности, связанные с неточностью определения периода и угла наклона нормали интерференционных полос.

Известно, что центр интерференционной полосы при визуальном наблюдении можно определить с погрешностью не более 0,1а, тогда

(8)

(9)

Проведенный метрологический анализ позволил получить рабочие выражения для оценки погрешностей измерения:

D Rx/Rx = 0,1/N (10)

(11)

(12)

 

Таблица 2

спекл-фотографии

Ni точки

а, мм

a у, град

Ryi, мкм

y, мкм

S2Ry, мкм2

SRy, мкм

D Ry, мкм

D Ry, %

1

1

40

3

7,910

8,013

0,0023

0,0403

0,1346

1,6

2

40

2

7,910

2

1

38

3

8,3263

2

39

3

8,1128

3

1

40

3

7,910

2

40

2

7,910

 

 

Таблица 3

NT, ij

zy, мм

Ryy, мкм

Rzij, мкм

a ij, град

Ryyист, мкм

D Ryij, мкм

D Ryij, %

Rzijист, мкм

D Rzij, мкм

D Rzij, %

1.1

2.1

3.1

1.2

2.2

3.2

1.3

2.3

3.3

1.5

2.5

3.5

1.6

2.6

3.6

55

56

59

65

72

76

83

96

113

92

139

279

82

112

167

5,878

5,816

5,367

4,446

4,262

4,069

3,150

2,876

2,701

0,716

0,394

0,097

0,537

1,055

1,317

1,03

0,756

0,351

2,01

1,109

0,571

2,174

1,456

0,706

3,273

2,237

1,131

3,821

2,612

1,317

1,0

8

4

24

15

8

35

27

15

77

80

85

-82

-68

-45

5,696

5,596

5,441

4,42

4,256

4,128

3,198

2,929

2,769

0,899

0,301

0,075

-0,546

-0,99

-1,267

0,018

-0,02

0,074

-0,026

-0,06

0,059

0,048

0,053

0,095

-0,037

-0,083

-0,022

0,02

-0,069

0,05

0,3

0,3

1,4

0,6

1,4

1,5

1,5

1,8

3,4

4,7

2,7

2,9

2

6,5

3,9

1,1

0,776

0,357

2,013

1,058

0,576

2,193

1,496

0,0756

3,313

2,249

1,133

3,886

2,647

1,327

0,07

0,02

0,027

0,01

0,051

0,05

0,019

0,031

0,05

0,04

0,012

0,02

0,065

0,035

0,01

6,7

2,5

7,5

1,4

4,8

7,1

0,8

2,0

6,6

1,2

0,9

1,7

1,6

1,7

1,8

 

 

На рис.7 приведены графики зависимости относительных погрешностей измерения величины вектора перемещения в плоскости YOZ.

Выводы

1. Из табл.1 следует, что с уменьшением Rxi точность определения нормальной компоненты смещений резко падает. Однако даже при смещении Rxi ³ 0,8 мкм погрешность не превышает 5%, что вполне достаточно для практических целей.

2. Погрешности вычислений компонент Ry и Rz вектора перемещений в плоскости УОZ одинаковы только при угле a = 45° и лежат в диапазоне 5%-15% при Rуz = 10¸ 50 мкм. При углах, отличных от 45º, погрешность уменьшается для возрастающей проекции (табл.3). Следовательно, предлагаемая методика наиболее пригодна для измерения перемещений в плоскости УОZ, преобладающих вдоль одной координаты.

 

Рис.1. Экспериментальная установка два проведения аттестации методов спекл-голографической интерферометрия; а - общий вид установки, б - схема установки.

 

Рис.2. График нормальных составляющих Rxj смещений реперных точек пластины 6 (▲ - значения, полученные экспериментально).

Рис.3. Голографическая интерферограмма объекта поверки при 1-ом варианта смещения R"x1 = 8,1476 мкм (система координат x1y1z1).

 

Рис.4. График зависимости относительной погрешности определения дробной части порядкового номера интерференционной полосы от числа полос N (• - экспериментально полученные значения погрешностей).

Рис.5. Расчетная схема для определения истинных составляющих смещений реперных точек сектора 7.

 

Рис.6. Графики составляющих Ry1j и Rz1j. смещений реперных точек сектора 7 (▲,· -значения, полученные экспериментально).

Рис.7. Графики зависимостей погрешностей (D Ry/Ry)% и [100 – (D Rz/Rz)]% от Ryz, a y,n при m = 1

 

Литература

1. Баев А.К., Борцов В.Е., Капустин А.А., Скорописцев В.П. Исследование прочности характеристик сборного режущего инструмента голографическими методами. // Прикладные вопросы голографии. Л.: ЛИЯФ, 1982, с.221-232.

2. Капустин А.А. Количественная оценка голографических интерферограмм с помощью спекл-интерферометрии в прочностных исследованиях. - // Оптико-когерентные информационно-измерительные системы. Харьков, ХАИ, 1977, с.149-154.

3. Борцов В.Е., Капустин А.А., Скорописцев В.П. Экспериментальное определение полей перемещений и деформаций при решении натурных задач механики деформируемого твердого тела. // Вопросы механики деформируемого твердого тела. Харьков, ХАИ, 1987, с.107-116.

4. Борцов В.Е., Капустин А.А., Скорописцев В.П. Измерение компонент деформаций при исследовании прочности сборного режущего инструмента. // Контактные процессы при больших пластических деформациях. Харьков, ХАИ, 1982, с.6-16.

5. Капустин А.А. Теория спекл-интерферометрических измерений напряженно-деформированного состояния элементов натурных конструкций. // Физические основы голографии. -Л.: ЛИЯФ, 1979, с.137-159.

Ќ § ¤‚ ­ з «®
 

Copyright © 1999-2004 MeDia-security, webmaster@media-security.ru

  MeDia-security: Новейшие суперзащитные оптические голографические технологии, разработка и изготовление оборудования для производства и нанесения голограмм.Методика применения и нанесения голограмм. Приборы контроля подлинности голограмм.  
  Новости  
от MeDia-security

Имя   

E-mail

 

СРОЧНОЕ
ИЗГОТОВЛЕНИЕ
ГОЛОГРАММ!!!

г.Москва, Россия
тел.109-7119
vigovsky@media-security.ru

Голограммы.Голограммы
на стекле.Голограммы на
плёнке.Голографические
портреты.Голографические
наклейки.Голографические
пломбы разрушаемые.
Голографические стикеры.
Голографическая фольга
горячего тиснения - фольга полиграфическая.

HOLOGRAM QUICK PRODUCTION!!!
Moscow, Russia
tel.+7(095)109-7119
vigovsky@media-security.ru

Holograms. Holograms on glass. Holographic film. Holographic portraits. Holographic labels. Holographic destructible seals. Holographic stickers. Holographic foil for hot stamping - polygraphic foil.