ГОЛОГРАФИЧЕСКИЙ МЕТОД КОНТРОЛЯ ОТРАЖАТЕЛЕЙ
А.П.Голиков, М.Л.Гурари, С.И.Прытков
В докладе сообщается о создании новой голографической методики для измерения радиусов кривизны и локальных искажений поверхности больших зеркал /1/.
Серийное производство вогнутых зеркал большого диаметра, и особенно выпуклых зеркал, в настоящее время слабо обеспечено средствами контроля. Сложность создания безабберационных волновых фронтов большой апертуры приводит к росту погрешностей интерференционных способов /2/
. Методы, не требующие специальных эталонных элементов, - сдвиговая интерферометрия и интерферометрия с рассеивателем - применимы к анализу только сходящихся пучков излучения. Для этих методов существенно, что база измерительной установки растет пропорционально радиусу кривизны контролируемого зеркала, что в случае вогнутых зеркал малой кривизны делает установку громоздкой и приводит к снижению точности измерений вследствие увеличения помех, а в случае выпуклых зеркал - требует применения крупногабаритных компенсаторов.
Принципиальная схема экспериментальной установки приведена на рис.1. Освещение исследуемого зеркала осуществляется расходящимися потоком излучения лазера ЛГ-38 через расположенный вплотную к зеркалу рассеиватель. Отраженный поток через тот же рассеиватель попадает на фотопластинку, на ней регистрируется его голограмма, через которую в дальнейшем наблюдается поверхность рассеивателя. Сдвиг зеркала приводит к образованию интерферограммы, локализованной на рассеивателе. По виду интерферограммы можно определить геометрические параметры поверхности контролируемого зеркала.
Повышение точности измерений достигается введением дополнительно к сдвигу компенсационного поворота зеркала. Комбинацией
сдвига и поворота интерферограмма приводится к стандартному виду, соответствующему повороту зеркала вокруг его центра кривизны. По измеренным величинам сдвига и поворота находится радиус кривизны, а искажения поверхности зеркала - по форме полос интерферограммы.
Голографическая измерительная установка с рассеивателем, установленным перед зеркалом, может обеспечить измерение радиусов кривизны зеркал диаметром от 200 мм и выше с точностью порядка 0,1% (Для величины радиусов кривизны в диапазоне от 10 до 50 м). Габариты установки в широких пределах не
зависят от кривизны контролируемых зеркал, в процессе измерения не применяется прецизионная оптика.
Относительно небольшая база измерительного устройства и независимость ее от кривизны конролируемой поверхности позволяет использовать предложенный метод для целей технологического контроля металлооптики в заводских условиях.
Л и т е р а т у р а
1. Авторское свидетельство СССР № 593070, БИ № 6, 1978.
2. И.И.Духопел, Д.Г.Федина."Оптико-механическая промышленность, №7, с.50, 1973.
