|
|
|
|
|
ИССЛЕДОВАНИЕ
ГОЛОГРАФИЧЕСКИХ ДИФРАКЦИОННЫХ РЕШЕТОК ПОЛУЧЕННЫХ НА ХСП
СОСТАВА
(As2S3)0,3
* ( As2Se3)0,7
ЛЕГИРОВАННГО ОЛОВОМ.
Бурдиян И.И., Фещенко
И.С.
Регистрирующие среды
на основе системы As2S3
- As2Se3
являются перспективными для изготовления голографических дифракционных решеток.
Известно, что путем вариации твердых растворов As2S3,
As2Se3 можно
увеличить чувствительность системы к любой длине волны видимого спектра. В связи
с чем нами был получен состав (As2S3)0,3× (
As2Se3)0,7 чувствительный к He - Ne лазеру
с длиной волны 632,8 нм. Зная, что атомы олова повышают фоточувствительность
[1,2], мы провели исследование по влиянию примеси олова на запись и некоторые
голографические параметры дифракционных решеток.
Вещества приготовлялись
сплавлением исходных As2S3, As2Se3,
взятых согласно стехиометрического состава с добавлением олова до 0,03ат. %.
Синтез проводился при 7000К в эвакуированных кварцевых ампулах и
активном механическом перемешивании компонент сплава. Полученные вещества являлись
стеклообразными и однородными по всему объему.
Далее были получены
путем термического осаждения в вакууме ~ 3× 10-3Па светочувствительные
слои на стекле. Толщина фоточувствительного слоя равнялась 0.8 мкм. При записи
решеток частотой 300 - 500 мм-1 использовался He - Ne лазер с длиной
волны 632,8 нм. Оптическая схема позволяла получить голографические решетки
с симметричным профилем штрихов. Считывание при записи и после химической обработки
осуществлялось полупроводниковым лазером с длиной волны 645 нм. Дифракционная
эффективность измерялась по схеме, близкой к автоколлимационной, и определялась
как отношение интенсивности луча, дифрагированного в первый порядок дифракции,
к интенсивности луча, падающего на решетку.
Первый этап исследования
проводился при малых интенсивностях записывающего пучка (0,091 мВт/см2)
и частоте решетки 500 мм-1. Одновременно при записи производился
процесс считывания системой (лазер с длиной волны 645 нм., ФЭУ, усилитель, самописец)
дифрагирующего пучка в первый порядок, при достижении максимума дифракционной
эффективности (ДЭ) процесс записи прекращался. После химической обработки снимались
показания ДЭ и в конце после напылении слоя серебра.
Таблица №1
Вещество
|
Примесь
ат.%
|
Время записи (мин.)
h =1,14%
|
Hmax, млДж/см2
h =1,14%
|
h пр,
%
|
h отр,
%
|
напылено Ag,
h отр,%
|
(As2S3)0,3×
( As2Se3)0,7
|
0
|
14
|
76,44
|
1,14
|
0,184
|
1,3
|
(As2S3)0,3×
( As2Se3)0,7
|
0,010
|
10.2
|
58,93
|
3,38
|
0,68
|
4,4
|
(As2S3)0,3×
( As2Se3)0,7
|
0,015
|
19
|
103,74
|
1,02
|
0,3
|
1,3
|
(As2S3)0,3×
( As2Se3)0,7
|
0,020
|
-
|
-
|
0,22
|
0,17
|
0,3
|
(As2S3)0,3×
( As2Se3)0,7
|
0,025
|
-
|
-
|
0,54
|
0,195
|
0,7
|
(As2S3)0,3×
( As2Se3)0,7
|
0,030
|
-
|
-
|
0,2
|
0,12
|
0,3
|
|
Рис. 1.а. Зависимость
дифракционной эффективности от концентрации олова при интенсивности 0,091
мВт/см2.
|
|
Рис. 1.б. Зависимость
экспозиции от концентрации олова при интенсивности 0,091 мВт/см2.
|
В первой колонке
таблицы №1 формула исследуемого вещества. Во второй количество примеси олова
в атомных процентах. Третья колонка содержит данные показывающие сколько времени
необходимо исследуемым образцам легированных Sn, для достижения ДЭ = 1,14% соответствующей
чистому веществу. В четвертую занесены экспозиции Hmax при которых
достигается также ДЭ = 1,14%. Пятая и шестая дают значения ДЭ соответственно
пропускания h пр, % и отражения h отр, % после
травления. И седьмая - ДЭ после напыления серебра. Из полученных данных видно,
что при концентрации 0,010 ат.% Sn в халькогенидном стеклообразном полупроводнике
состава (As2S3)0,3× (As2Se3)0,7
ДЭ на пропускание 3,38% и отражение 0,68% максимальна (на отражение с напылением
Ag 4,4%). При дальнейшем повышении концентрации примеси олова 0,015 - 0,030
ат.% Sn дифракционная эффективность уменьшаясь сравнивается с чистым (нелегированным)
образцом при 0,015 ат.% Sn рис.1.а. Хотя дифракционная эффективность при концентрации
0,015 ат.% Sn почти совпадает с ДЭ чистого образца, но экспозиция для ее достижения
гораздо больше 76,44 против 103,74 мДж/см2. Анализ полученных данных
показывает, что наиболее оптимальна примесь олова 0,010 ат.% Sn которая уменьшает
экспозицию до 58,93 мДж/см2 для достижения ДЭ = 1,14% и увеличивает
дифракционную эффективность в три раза.
Второй этап проводился при вышеописанных
условиях для тех же образцов, но при частоте 300 мм-1 и интенсивности
записывающего излучения 1млВт таблица №2.
Таблица №2.
Вещество
|
Примесь
ат.%
|
Время записи (мин.)
h =9,14%
|
Hmax, млДж/см2h
=9,14%
|
h пр,
%
|
h отр,
%
|
напылен Ag,
h отр,%
|
(As2S3)0,3×
( As2Se3)0,7
|
0
|
2,1
|
126
|
9,14
|
5,8
|
13,3
|
(As2S3)0,3×
( As2Se3)0,7
|
0,010
|
3.4
|
187
|
12,1
|
6,66
|
19,2
|
(As2S3)0,3×
( As2Se3)0,7
|
0,015
|
1,0
|
57
|
14,31
|
8,36
|
22,4
|
(As2S3)0,3×
( As2Se3)0,7
|
0,020
|
-
|
-
|
5,31
|
4,31
|
9
|
(As2S3)0,3×
( As2Se3)0,7
|
0,025
|
6,7
|
441
|
14,48
|
7,14
|
19,2
|
(As2S3)0,3×
( As2Se3)0,7
|
0,030
|
3,16
|
230
|
13,79
|
8,62
|
16
|
|
Рис. 2.а. Зависимость
дифракционной эффективности от концентрации олова при интенсивности.1млВт/см2.
|
|
Рис. 2.б. Зависимость
экспозиции от концентрации олова при интенсивности.1млВт/см2. |
Анализ результатов
таблицы №2. При увеличении интенсивности записывающего излучения с 0,091млВт/см2
до 1млВт/см2 происходит смещение оптимальной концентрации примеси
на 0,005 ат.% Sn в сторону больших концентраций, что соответствует 0,015. Дифракционная
эффективность (при 0,015 ат.% Sn) на пропускание равна h пр= 14,31%,
на отражение h отр= 8,36% (ДЭ с напыленным слоем серебра
h отр =
22,4%). Энергия экспозиции минимальна
(для достижения ДЭ=9,14%, требуется всего 57 мДж/см2 т.е. в два раза
меньше чем для чистого вещества). ² Провал² параметров при концентрации
примеси 0,020 ат.% сохраняется, тут результаты наихудшие (h пр=
5,51%, h отр=
4,31%). Для концентраций примесей 0,010, 0,025, 0,030 ДЭ больше чем у
чистого материала рис.2.а. Но это достигается путем значительного увеличения
экспозиции (в 2-3 раза) рис.2.б.
Объяснение полученных
результатов может быть проведено на основе спектров Мессбауэра [3] и масс-спектрометрического
анализа [4]. В работе [3] предполагают, что атомы олова в системе As2S3
- As2Se3 располагаются между слоями атомов мышьяка и атомов
халькогена, образуя химические связи с тремя атомами халькогена из одного слоя
и тремя атомами халькогена из второго слоя и проявляет максимальную валентность
IV с локальным координационным числом близким к VI. При облучени происходит
изменение структуры в результате чего валентность олова меняется с IV на II.
и меняется координация атомов олова, что и приводит к дополнительному увеличению
дифракционной эффективности, фоточувствительности на фоне обычных фотоструктурных
превращений происходящих в чистых халькогенидных полупроводниках. При исследовании
масс-спектрометрическим методом [97] халькогенидных полупроводников было обнаружено,
что при напылении тонких пленок вакуумным испарением происходит частичное фракционирование
расплава по составу в сторону уменьшения процентного содержания олова в составе
газовой фазы и соответственно и в тонких пленках. Это подтверждается уменьшением
процентного содержания олова в масс-спектрах над тонкими пленками относительно
исходного массивного состава и увеличением процентного содержания олова в остатке
вещества после испарения. Следовательно процесс термического испарения приводит
к появлению градиента концентрации Sn по толщине пленки. Поэтому мы предполагаем,
что смещение оптимальной концентрации олова с 0,010 ат.% до 0,015 ат.% с увеличением
мощности записывающего излучения связано с фотостимулированными процессами происходящими
на большей глубине. А так как концентрации олова с толщиной уменьшается то исходный
однородный состав (As2S3)0,3× ( As2Se3)0,7
стал оптимальным при увеличении концентрации Sn с 0,010 до 0,015 ат.%. Исследования
системы состава (As2S3)0,3× ( As2Se3)0,7
легированного оловом показало ,что с помощью малых концентраций примесей олова
можно значительно повысить максимальную дифракционную эффективность примерно
в 3 раза для малых интенсивностей (порядка 0.091млВт/см2) и в 1,5
раз для больших интенсивностей порядка 1млВт/см2. Энергия экспозиции
для малых интенсивностей (при концентрации Sn 0,010ат.%) уменьшается на 30%,
а при больших интенсивностях (при концентрации Sn 0,015ат.%) на 50%. Таким образом,
легируя материал состава (As2S3)0,3×
(As2Se3)0,7 малыми концентрациями олова можно
значительно повысить чувствительность и дифракционную эффективность голографических
решеток.
ЛИТЕРАТУРА:
- Андриеш А.М., Иову М.С., Циуляну
Д.И., Шутов С.Д. “Стеклообразный сульфид мышьяка и его сплавы”, Кишинев, 1981.
- Бурдиян И.И., Герасименко
Л.А., Коваленко П.А., Форш А.А., Слепнев И.Н. Тезисы докладов 111 Всесоюзной
конференции по вычислительной оптоэлектронике”, Ереван, 1987, ч. 1, с. 52-53.
- Любин В.М., Серегина
Л.Н., Федоров В.А. Исследование фотоструктурных превращений стеклообразных
пленках As2S3 методом мессбауэровской спектроскопии
на примесных атомах олова. // Физ.и хим. стекла, 1985, т. 11, №5, с. 626-629.
- Буздуган А.И., Ватаман
Н.И., Долгиер В.Т., Попеску А.А. Молекулярные формы и структура некристаллической
системы As-S. // В сб.:Тез. докл. второго совещания-семинара. Применение халькогенидных
стеклообразных полупроводников в оптоэлектронике. Кишинев, 1989, с. 20, 21.
|
|
|
|
|
|
|
|
Copyright
© 1999-2004 MeDia-security,
webmaster@media-security.ru
|
|
|